Pfeiffer Vacuum Gauge Controller について
Pfeiffer Vacuum TPG 圧力計コントローラーの圧力読み取りと記録、電離真空計の管理を行う MCP サーバーです。電離真空計の起動前に圧力を確認します。
主な機能
- 01単一または全圧力計の読み取り
- 02圧力系列の記録と CSV 保存
- 03接続された圧力計の識別
- 04圧力単位の変更
- 05圧力確認付き電離真空計の切り替え
- 06コントローラーエラーの読み取り
活用シーン
- 01チャンバーとフォアラインの圧力監視
- 02排気または圧力上昇曲線の記録
- 03圧力計と電源状態の識別
- 04圧力確認後の電離真空計の起動
MCP 対応
圧力読み取り、記録、圧力計識別、制御のツールを MCP クライアントに公開します。対応コントローラーに USB シリアル、イーサネット、または RS-232 で接続します。
設定
ローカルサーバーの設定はどのクライアントでも共通です。コピーしてクライアントの MCP 設定ファイルに貼り付けてください。
uvx labmcp-pfeiffer-tpgLABMCP_ADDRESSInstrument address, e.g. serial:///dev/ttyUSB0 or tcp://192.168.1.50:5025LABMCP_SIMULATESet to 1 to use the built-in simulator (no hardware)LABMCP_READ_ONLYSet to 1 to disable all state-changing toolsLABMCP_LIMITSSafety limit overrides, e.g. max_temperature_c=80ローカルサーバーにはマシン上の実行環境(Node.js 18 以上など)が必要です。設定ファイルの場所はクライアントごとに異なります。
ツール
11掲載時のツール一覧 · 2 週間前に更新
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詳細
Pfeiffer Vacuum Gauge Controller — MCP サーバー
AI エージェントが Pfeiffer Vacuum TPG 全圧ゲージコントローラーのチャンバー圧力とフォアライン圧力を読み取って記録し、接続されているゲージを特定し、圧力単位を変更し、圧力を確認したうえで電離真空計のオン・オフを切り替えられるようにします。
| パッケージ | labmcp-pfeiffer-tpg |
| 計測器 | TPG 361 SingleGauge、TPG 362 DualGauge、TPG 366 MaxiGauge(ActiveLine ゲージ);TPG 261/TPG 262(コンパクトゲージ) |
| インターフェース | TPG 36x:USB Type-B(仮想 COM ポート)、イーサネット(TCP ポート 8000);TPG 26x:RS-232 |
| プロトコル | Pfeiffer ニーモニックプロトコル、ACK/NAK + ENQ(TPG 361/362 通信プロトコル BG 5510 BEN、TPG 366 通信プロトコル BG 5511 BEN、TPG 262 取扱説明書 BG 805 196 BE のセクション 5;原本はPfeiffer ダウンロードセンターにあります) |
| ステータス | 🧪 シミュレーション:プロトコルのバイトレベルシミュレーターでテスト済みですが、ハードウェアでは未検証です。ハードウェアテストを報告 |
ハードウェアなしで試す
uvx labmcp-pfeiffer-tpg --simulate --check # TPG 362: FullRange gauge + Pirani
uvx labmcp-pfeiffer-tpg --simulate --option model=tpg366 --check # 6 channels incl. a cold cathode gauge
シミュレーションでは、チャンバーの圧力が 8e-5 mbar から 2e-7 mbar に向かって低下し(時定数 10 分)、フォアラインは約 2.4e-2 mbar に保たれます。
コントローラーを接続する
- プロトコル(TPG 36x): PROTOCOL パラメーターは AUTO(工場出荷時の設定)または MNE(ニーモニック)に設定してください。PV(Pfeiffer Vacuum テレグラムプロトコル)は使用しないでください。
- USB(TPG 36x): USB Type-B ポートは仮想 COM ポートとして認識されます。工場出荷時の設定は 9600 baud、8N1 です(BAUD USB パラメーター。19200~115200 も設定可能です)。
- イーサネット(TPG 36x、TPG 366): DHCP または静的 IP を設定します(フロントパネルまたは Pfeiffer の Ethernet Configuration Tool を使用)。コマンドポートは 8000 に固定されています。
- RS-232(TPG 261/262): デフォルトは 9600 baud、8N1 で、TXD/RXD のみを使用します。
- 接続をテストする:
モデルはuvx labmcp-pfeiffer-tpg --address /dev/ttyUSB0 --check uvx labmcp-pfeiffer-tpg --address COM3 --check uvx labmcp-pfeiffer-tpg --address "serial://COM3?baudrate=115200" --check uvx labmcp-pfeiffer-tpg --address tcp://192.168.1.70:8000 --checkAYTで検出されます(TPG 36x)。AYTを認識しないコントローラーは TPG 26x として扱われます。明示的に指定するには、--option model=tpg261(またはtpg262、tpg361、tpg362、tpg366)を使用してください。
MCP クライアントに追加する
Claude Code
claude mcp add vacuum -- uvx labmcp-pfeiffer-tpg --address tcp://192.168.1.70:8000
Claude Desktop / Cursor / Windsurf(claude_desktop_config.json、.cursor/mcp.json、…)
{
"mcpServers": {
"vacuum": {
"command": "uvx",
"args": ["labmcp-pfeiffer-tpg", "--address", "tcp://192.168.1.70:8000"]
}
}
}
--read-only を追加すると、読み取りと記録は許可しつつ、単位の変更とゲージのオンへの切り替えを禁止できます(switch_gauge_off は引き続き使用できます)。その他のクライアントでは、uvx labmcp config pfeiffer-tpg --address tcp://192.168.1.70:8000 --client vscode を実行して設定スニペットを生成してください(cursor、codex、claude-code も指定できます)。
ツール
| ツール | 種類 | 説明 |
|---|---|---|
get_command_log | 👁 読み取り | 機器に送信されたコマンド、または機器から受信した応答のうち、最新の生データを返します(新しいものが最後)。デバッグや実行内容の記録に役立ちます。 |
get_connection_info | 👁 読み取り | 接続されている機器(識別情報、アドレス、シミュレーションか実機か)、サーバーが読み取り専用かどうか、および有効な安全制限を報告します。最初に呼び出してください。 |
get_errors | 👁 読み取り | コントローラーの ERROR ワードを読み取り(クリアし)ます。コントローラーエラー、ハードウェアなし、許容されないパラメーター、構文エラーが含まれます。空のリストはエラーがないことを示します。 |
get_gauge_types | 👁 読み取り | 各チャンネル(TID)に接続されているゲージ、その種類、および現在オンかオフかという電離真空計の状態(SEN)を一覧表示します。 |
log_pressure_series | 👁 読み取り | 一定間隔で圧力を記録します(例:排気曲線、リークアップ/圧力上昇率試験、ベークアウト)。対数空間でのチャンネルごとの統計と、ダウンサンプリングされた時系列データを返します。全時系列データは新しい CSV ファイルに書き込めます(既存のファイルが上書きされることはありません)。max_log_duration_s と、1 回の呼び出しにつき 2 時間の制限が適用されます。 |
read_all_pressures | 👁 読み取り | コントローラーの全チャンネルを一度に読み取ります(PRX)。チャンネルごとのステータスも含まれます。 |
read_pressure | 👁 読み取り | 1 つのゲージチャンネルを読み取ります。ステータス、表示単位での圧力、mbar 単位での圧力が含まれます。 |
reconnect | 🛑 安全 | 機器との接続を閉じて、再度開きます(例:機器の電源再投入後、またはケーブルの再接続後)。 |
set_gauge_power | ⚠️ 危険 | 電離真空計(IKR、PKR、PBR、IMR)のオン/オフを切り替えます(SEN)。高圧時に熱陰極または冷陰極ゲージをオンにすると、フィラメントの焼損やゲージの汚染を招くおそれがあるため、このゲージまたは reference_channel からの有効な読み取り値が max_switch_on_pressure_mbar 以下でない限り、オンへの切り替えは拒否されます。オフにすると、インターロックに使われるセットポイントリレーが作動する場合があります。 |
set_unit | 🎛 制御 | ディスプレイとインターフェースで使われる圧力単位を変更します(UNI)。この設定にかかわらず、読み取り値には常に mbar も含まれます。 |
switch_gauge_off | 🛑 安全 | 電離真空計をオフにします(例:ベントする前、または圧力が上昇している場合)。常に実行できます。このチャンネルに割り当てられたセットポイントリレーの状態が変わる場合があります。 |
get_connection_info、get_command_log、reconnect は、すべての LabMCP サーバーに組み込まれています。
安全制限
| 制限 | デフォルト | 意味 |
|---|---|---|
max_switch_on_pressure_mbar | 1e-2 mbar | 有効な読み取り値(ゲージ自身、または reference_channel の値)がこの圧力以下の場合にのみ、電離真空計をオンにできます |
max_log_duration_s | 3600 s | エージェントが開始できる log_pressure_series の最長時間 |
起動時に上書きできます:--limit max_switch_on_pressure_mbar=1e-3 --limit max_log_duration_s=7200。log_pressure_series の 1 回の呼び出しで記録できるのは最大 2 時間です(ツールのタイムアウトによる制限)。より長いベークアウトでは、連続する呼び出しで別々のファイルに記録してください。save_path は .csv で終わり、まだ存在していない必要があります(既存のファイルが上書きされることはありません)。この条件は記録開始前に確認されます。
プロンプトの例
- 「現在のチャンバー圧力はどのくらいですか? また、フォアラインは 5e-2 mbar 未満ですか?」
- 「30 分間、10 秒ごとにすべてのゲージを記録し、チャンバーの圧力が毎分何桁のペースで下がっているか教えてください。」
- 「バルブを閉じてから、チャンネル 1 を 5 分間、2 秒ごとに記録して、リークアップ率を推定できるようにしてください。」
- 「どのゲージが接続されていますか? また、オフになっている電離真空計はどれですか?」
- 「FullRange ゲージでチャンバーが 1e-5 mbar 未満です。チャンネル 1 を参照チャンネルとして、チャンネル 3 の冷陰極ゲージをオンにしてください。」
注意事項
- イオン化真空計の電源を入れる際に危険が伴います。 高温陰極(ベヤード・アルパート)フィラメントは焼損する可能性があり、冷陰極(ペニング)真空計は高圧で動作させると汚染されます。
set_gauge_power(on=True)を実行するには、真空計自体、または同じ真空系のreference_channelから、okステータスでmax_switch_on_pressure_mbar以下の読み取り値が必要です。ピラニ真空計のunderrange読み取り値は証明として認められません(コントローラーがunderrange時に何を報告するかは指定されていません)。そのため、ピラニ真空計とペニング真空計の構成では、コントローラーでペニング真空計の電源を入れるか、FullRange真空計を参照として使用してください。デフォルト値の1e-2 mbarは、一般的な冷陰極真空計の測定範囲の上限です。お使いの真空計のマニュアルを確認し、推奨されている場合は高温フィラメント真空計向けに値を下げてください。 - 真空計の電源を切る(
switch_gauge_offまたはset_gauge_power(on=False))と、そのチャンネルに割り当てられた設定値(スイッチング機能)リレーが切り替わることがあります。これらのリレーは、バルブやポンプのインターロックに配線されている場合があります。 - 圧力値にはすべてコントローラーのステータスが付属します。ステータスはok、underrange、overrange、sensor error、sensor off、no sensor、identification errorのいずれかです。
pressureに値が設定されるのは、ステータスがokの場合のみです。raw_valueはコントローラーから送信された値です。値はmbarに変換されます(1 Torr = 1.333224 mbar)。Vモードでは変換されません。 - すべてのコマンドはACK/NAKを待機します。NAKを受信するとERRORワード(コントローラーエラー、ハードウェアなし、許容されないパラメーター、構文エラー)を読み取り、報告します。
get_errorsはこれを読み取ってクリアします。 - 脱ガス、フィルター、校正係数、スイッチング機能の設定値、真空計の制御(ホットスタート/自己制御)、データロガー、Pfeiffer Vacuum(PV)テレグラムプロトコルには対応していません。RS-485マルチドロップ動作はテストされていません。
ハードウェア検証
| モデル | ファームウェア | インターフェース | 検証者 | 日付 |
|---|---|---|---|---|
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コメント
AI アプリケーションが外部のツールやデータソースに統一的な方法で接続するためのオープンなプロトコルです。クライアントはモデルとの対話を担い、MCP サーバーはツール・リソース・プロンプトテンプレートを提供します。標準メッセージでやり取りするため、1 つのサーバーを複数のクライアントで再利用できます。